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    激光幹涉儀的應用

    2021-02-23 15:16:38

    (1)幾何精度檢測 可用於檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平麵度、平行度等。

    (2)位置精度的檢測及其自動補償 可檢測數控機床定位精度、重複定位精度、微量位移精度等。利用雷尼紹ML10激光幹涉儀不僅能自動測量機器的誤差,而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進行補償,比通常的補償方法節省了大量時間,並且避免了手工計算和手動數控鍵入而引起的操作者誤差,同時可大限度地選用被測軸上的補償點數,使機床達到更高的精度,另外操作者無需具有機床參數及補償方法的知識。

    (3)數控轉台分度精度的檢測及其自動補償 現在,利用ML10激光幹涉儀加上RX10轉台基準還能進行回轉軸的自動測量。它可對任意角度位置,以任意角度間隔進行全自動測量,其精度達±1。新的國際標準已推薦使用該項新技術。它比傳統用自準直儀和多麵體的方法不僅節約了大量的測量時間,而且還得到完整的回轉軸精度曲線,知曉其精度的每一細節,並給出按相關標準處理的統計結果。

    (4)雙軸定位精度的檢測及其自動補償 雷尼紹雙激光幹涉儀係統可同步測量大型龍門移動式數控機床,由雙伺服驅動某一軸向運動的定位精度,而且還能通過RS232接口,自動對兩軸線性誤差分別進行補償。

    (5)數控機床動態性能檢測 利用RENISHAW動態特性測量與評估軟件,可用激光幹涉儀進行機床振動測試與分析(FFT),滾珠絲杠的動態特性分析,伺服驅動係統的響應特性分析,導軌的動態特性(低速爬行)分析等。長度精密檢測

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