激光具有高強度、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優點。目前常用來測量長度的幹涉儀，主要是以邁克爾遜幹涉儀為主，並以穩頻氦氖激光為光源，構成一個具有幹涉作用的測量係統。激光幹涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作，並可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。
激光幹涉儀維護保養要求：
1、儀器應妥善地放在幹燥、清潔的房間內，防止振動，儀器搬動 時，應托住底座，以防導軌變形。
2、光學零件不用時，應存放在清潔的幹燥盆內，以防止發黴。反光鏡、分光鏡一般不允許擦拭，必要擦拭時，須先用備件毛刷小心撣去灰塵，再用脫脂清潔棉花球滴上酒精和乙醚混合液輕拭。
3、傳動部件應有良好的潤滑。特別是導軌、絲杆、螺母與軸孔部分，應用T5精密儀表油潤滑。
4、使用時，各調整部位用力要適當，不要強旋、硬扳。
5、導軌麵絲杆應防止劃傷、鏽蝕，用畢後，仍保持不失油狀態。
6、 經過精密調整的儀器部件上的螺絲，都塗有紅漆，不要擅自轉動。花季传媒入口网站
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